混合集成電路的基本工藝

為便于自動(dòng)化生產(chǎn)和在電子設(shè)備中緊密組裝，混合集成電路的制造采用標(biāo)準(zhǔn)化的絕緣基片。常用的是矩形玻璃和陶瓷基片，可將一個(gè)或幾個(gè)功能電路制作在一塊基片上。制作過(guò)程是先在基片上制造膜式無(wú)源元件和互連線，形成無(wú)源網(wǎng)絡(luò)，然后安裝上半導(dǎo)體器件或半導(dǎo)體集成電路芯片。膜式無(wú)源網(wǎng)絡(luò)用光刻制版和成膜方法制造。在基片上按照一定的工藝順序，制造出具有各種不同形狀和寬度的導(dǎo)體、半導(dǎo)體和介質(zhì)膜。把這些膜層相互組合，構(gòu)成各種電子元件和互連線。在基片上制作好整個(gè)電路以后，焊上引出導(dǎo)線,需要時(shí),再在電路上涂覆保護(hù)層，最后用外殼密封即成為一個(gè)混合集成電路。

應(yīng)用發(fā)展

混合集成電路的應(yīng)用以模擬電路、微波電路為主，也用于電壓較高、電流較大的專(zhuān)用電路中。例如便攜式電臺(tái)、機(jī)載電臺(tái)、電子計(jì)算機(jī)和微處理器中的數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換電路、數(shù)-模和模-數(shù)轉(zhuǎn)換器等。在微波領(lǐng)域中的應(yīng)用尤為突出。